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拐角行星减速机在单晶硅生产机械应用

发表时间:2019-06-20

生产单晶硅的常用方法是Czochralski方法,它是克劳斯基方法。 Czochralski方法是用于半导体和太阳能电池单晶生长的最晶体生长技术。拉伸速度的大小和稳定性决定了晶体生长的质量。拉动过程的抖动或上升速度不均匀,这可能导致晶体生长的晶格未对准。在水晶升降结构中,拐角行星减速机是关键部件,因此客户对行星减速器有一定的要求……


 
拐角行星减速机在单晶硅生产机械应用
当用户要求伺服电机速度为10rpm时,输出速度在通过拐角行星减速机减速器后稳定地控制在0.1rpm。因此,合富源配备了客户的减速比:I=10/0.1=100。对于其他用户,之前使用过拐角行星减速机,安装尺寸与合富源行星减速器的标准尺寸不同。根据用户的要求,工厂在用户面前将尺寸改为与其他品牌相同的尺寸,方便客户安装和测试。
 

尺寸变化分为两部分,其余部分按样本标准反映:

 
1.输出轴直径选择为Φ22,轴长度改为40mm。
2.分布圆的直径变为Φ100。
 
合富源根据用户配备的伺服电机的接口尺寸完全定制。此外,对于输出尺寸与合富源伺服减速机上标注的尺寸不同的用户,澳门游戏平台注册网站可以根据客户的要求定制尺寸,如果尺寸变化不是特别大,价格和交货时间不会受到影响。这可以极大地保证用户安装的便利性。
 
避免低速抖动非常重要。行星减速器的低速抖动问题在市场上很常见,单晶硅的增长速度也不会太快。


 
拐角行星减速机在单晶硅生产机械应用

行星减速机厂家提出的解决方案:

 
1.提高减速机的精度,减少减速机的后冲。澳门游戏平台注册网站选择行星减速机BPF系列减速机来匹配;
2.纠正减速器内的啮合齿轮,增加啮合面;
3.采用伺服电机连接方式,采用独特的锁定结构,确保伺服电机与减速机之间连接的稳定性。
 
基于以上所述,客户无需使用合富源减速器,更愿意使用合富源行星减速机。客户启动正式试验并测试所需指标。
 
通过客户对伺服减速机的实际使用和测试,行星减速机性能稳定可靠,单晶硅棒具有良好的拉动效果。当将晶锭切割成晶片时,晶片是纯硅晶片。同时,从用户的生产成本考虑,合富源系列行星减速机用于替代其他品牌的行星减速机,这样可以在不改变性能的情况下降低设备的生产成本。
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